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经营范围
发明名称
APPARATUS FOR HARDENING POLYIMIDES OF SEMICONDUCTOR BY MICROWAVE AND METHOD OF THE SAME
摘要
申请公布号
KR100529609(B1)
申请公布日期
2005.11.17
申请号
KR20030096998
申请日期
2003.12.24
申请人
发明人
分类号
H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324
主分类号
H01L21/324
代理机构
代理人
主权项
地址
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