发明名称 Düse für ein Lichtbogenplasma-Beschichtungsgerät
摘要
申请公布号 DE69826183(T2) 申请公布日期 2005.11.17
申请号 DE1998626183T 申请日期 1998.06.26
申请人 GENERAL ELECTRIC CO., SCHENECTADY 发明人 YANG, BARRY LEE-MEAN
分类号 H05H1/42;B05B7/22;B05B12/12;C23C4/12;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;C23C16/513;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):B05B7/22 主分类号 H05H1/42
代理机构 代理人
主权项
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