摘要 |
Die Erfindung bezieht sich auf einen mikromechanischen Sensor mit einem Sensorkörper (2) und einem beweglichen Sensorelement (3), dem eine Ruhelage (13) zugeordnet ist und das in einem Aufhängungsbereich (4) mit dem Sensorkörper (2) verbunden ist, einem Messdetektor (6) zur Erzeugung eines Messsignals und einem Kompensationsdetektor (7) zur Erzeugung eines Kompensationssignals, wobei das Kompensationssignal und das Messsignal zur Erzeugung eines Ausgangssignals vorgesehen sind und der Kompensationsdetektor (7) derart beabstandet von dem Aufhängungsbereich (4) angeordnet ist, dass der Einfluss eine Veränderung der Ruhelage des Sensorelements (3) auf das Ausgangssignal zumindest teilweise kompensiert ist.
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