发明名称 Mikromechanischer Sensor
摘要 Die Erfindung bezieht sich auf einen mikromechanischen Sensor mit einem Sensorkörper (2) und einem beweglichen Sensorelement (3), dem eine Ruhelage (13) zugeordnet ist und das in einem Aufhängungsbereich (4) mit dem Sensorkörper (2) verbunden ist, einem Messdetektor (6) zur Erzeugung eines Messsignals und einem Kompensationsdetektor (7) zur Erzeugung eines Kompensationssignals, wobei das Kompensationssignal und das Messsignal zur Erzeugung eines Ausgangssignals vorgesehen sind und der Kompensationsdetektor (7) derart beabstandet von dem Aufhängungsbereich (4) angeordnet ist, dass der Einfluss eine Veränderung der Ruhelage des Sensorelements (3) auf das Ausgangssignal zumindest teilweise kompensiert ist.
申请公布号 DE102004021693(A1) 申请公布日期 2005.11.17
申请号 DE20041021693 申请日期 2004.04.30
申请人 AUSTRIAMICROSYSTEMS AG, UNTERPREMSTAETTEN 发明人 SCHRANK, FRANZ
分类号 B81B3/00;B81B7/02;G01P15/08;G01P15/125;G01P15/13;(IPC1-7):G01P15/08 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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