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发明名称 Ausheilprozess und Vorrichtung eines Halbleiter-Wafers
摘要
申请公布号 DE10393798(T5) 申请公布日期 2005.11.17
申请号 DE2003193798T 申请日期 2003.11.27
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES, BERNIN 发明人 SCHWARZENBACH, WALTER;WAECHTER, JEAN-MARC
分类号 C30B33/00;C30B33/02;H01L21/00;H01L21/324;H01L21/762 主分类号 C30B33/00
代理机构 代理人
主权项
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