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发明名称 WET CLEANING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20050109122(A) 申请公布日期 2005.11.17
申请号 KR20040033875 申请日期 2004.05.13
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, SUN GY
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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