| 摘要 |
本发明之课题在于，使用上限计数率在10^7cps以上的X射线检测器，于数秒左右的短时间内测定X射线反射率。此外，在大的动态范围内获得高精度的反射率曲线。使用上限计数率在10^7cps以上、杂讯位准在20cps以下的X射线检测器，将散射角2θ的每一点的测定时间设定在50毫秒以下，以测定X射线反射率。藉此，可在数秒左右的短时间内测定X射线反射率，动态范围亦可确保在5位数左右。又，使用上限计数率在10^7cps以上、杂讯位准在0.01cps以下的X射线检测器，将散射角2θ的每一点的测定时间的最大值设定在100秒以上，以测定X射线反射率。藉此，可在9位数的动态范围内获得反射率曲线，可进行高精度的薄膜构造解析。于任一情况下，均可利用崩溃光二极体作为X射线检测器。 |
