氢氟酸的精制法及其精制装置

摘要

本发明之目的在提供可得5ppt以下之超高纯度氢氟酸之氢氟酸的精制法及其精制装置。其特征在于：于含有砷化合物之氢氟酸添加氟气体或氟气体与惰性气体之混合气体后，滞留一定时间后，蒸馏氢氟酸。