| 摘要 |
于曝光装置装载标线片进行曝光，将标线片上的测定用标记转印至晶圆上来形成测定用标记的第1转印像(步骤212)。其次，于旋转晶圆后(步骤218)，对旋转后的晶圆转印测定用标记来形成测定用标记的第2转印像(步骤224)。以此方式，根据测定用标记转印时晶圆相对标线片的方向，以SEM(扫描型电子显微镜)取得分别形成于晶圆上的测定用标记的第1、第2转印像的影像。在不旋转任一影像的状态下，对所取得之各影像施以使测定方向共通的影像处理，来测定测定用标记的第1、第2转印像分别于测定方向的尺寸。藉此，防止影像取得与影像处理的组合所造成之标记尺寸测定精度的降低。 |
