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发明名称 氰金刚烷系化合物及聚合物
摘要 本发明提供一种氰金刚烷系化合物，包含此等化合物之聚合单位之聚合物，与包含此等聚合物之光阻剂组成物。本发明之较佳聚合物系用于在250nm以下波长，如：在248nm与193nm下成像之光阻剂。094106897-p01.bmp
申请公布号 TW200537244 申请公布日期 2005.11.16
申请号 TW094106897 申请日期 2005.03.08
申请人 罗门哈斯电子材料有限公司 发明人 荣;卡拿那
分类号 G03F7/038 主分类号 G03F7/038
代理机构 代理人 洪武雄;陈昭诚
主权项
地址 美国
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