含有疏水性官能基保护之载运剂的铜电镀液以及铜电镀方法

摘要

本发明提供一种铜电镀液，其包括：1～45g／L之铜离子；1～220mg／L之一电解质；以及1～50000ppm之一载运剂。本发明载运剂之化学式为R–A–H或R–A–R，其中A为聚氧化亚烷基(polyalkylene oxide)，R为相同或不同，且为疏水性官能基。093113618-p01.bmp