绝缘膜形成方法、绝缘膜形成装置及电浆膜形成装置

摘要

一绝缘膜(101)是藉由一电浆膜形成装置(1a)所形成，该装置包含具有一电磁波入射面F的一真空腔(2)、于该真空腔(2)中形成的第一气体注射洞(42)，以及于该真空腔(2)中形成的第二气体注射洞(52)，该第二气体注射洞(52)较该第一气体注射洞(42)与该电磁波入射面F之距离为远。举例而言，将一第一气体系从一距离该电磁波入射面F为小于10毫米的位置处引入，该真空腔(2)。包含一有机矽化合物的一第二气体是从一距离该电磁波入射面F等于或大于10毫米的位置处引入该真空腔(2)。