光微影含浸流体

摘要

本发明公开了可以添加到含浸流体中的合适添加剂，包含选自水流体、非水流体和其混合物的至少一种载体介质的含浸流体，和包含至少一种载体介质和至少一种添加剂的含浸流体，该至少一种添加剂在140nm到365nm的工作波长下可用于进行含浸式光微影。