基板吸附装置及基板贴合装置

摘要

本发明之基板吸附装置1包含有台子11，其具有用以保持基板20之吸附面12；复数个吸附口13，其设置于台子11之吸附面12；及真空泵14，其经由排气通道17连接于吸附口13。并且，包含检测排气通道17内之压力之压力感应器18，台子11于设有吸附口13之位置以外之区域，形成有复数个泄漏槽30，该泄漏槽开放于台子11之吸附面12与台子11之侧面之双方。如此一来，可以低成本且简单之构成，检测出造成基板20损伤之异物15混入，而防止基板20之损伤于未然。