藉由移除晶圆之传导层以形成装置之方法

摘要

本发明揭露出一种形成微机电装置的方法，其系提供一种具有基底、第一传导层、第二传导层与中间传导层的晶圆。在提供晶圆以后，本方法移除至少一部份的中间传导层，以在第一与第二传导层之间形成一孔穴。至少一部份的第一传导层可相对于该基底移动，以形成一薄膜，而第二传导层则相对于该基底为实质上不可移动。在形成该孔穴以后，该方法会将该孔穴密封。