晶圆扫瞄装置

摘要

本发明提供一种晶圆扫瞄装置，其可提升相关扫瞄速度控制的响应性，提高扫瞄速度的均匀性，同时将马达等的配置适当化，并进一步以最佳态样实现晶圆的倾斜。本发明之解决手段系在真空室中对晶圆施行扫瞄的装置。具备有：安装晶圆的支撑架10；使支撑架10进行扫瞄动作的滚珠螺杆20；供驱动滚珠螺杆20用的马达50；以及一体保持着该等的支撑框60。将支撑架10与滚珠螺杆20设置于真空室中，另外，将未位于滚珠螺杆20之移动直线上的传动手段与马达50设置于大气部分中。