紫外线感测器及其制造方法

摘要

一种紫外线感测器，包括基底；位于基底上用作侦测器的钻石层；以及至少一对排列在钻石层上的表面电极。钻石层的表面处具有侦测区，侦测器具有至少一个从表面电极曝露的子区，且子区具有位于其上的由氧化物或氟化物组成的覆盖层。一种制造紫外线感测器的方法，包括下列步骤：在基底上形成用作侦测器的钻石层；在钻石层上形成至少一对表面电极；以及在存在于钻石层表面处的侦测区的至少一个子区上，形成由氧化物或氟化物组成的覆盖层，此子区被从表面电极曝露。