形成图案之方法及装置,装置及电子装置

摘要

一种在一基底上形成图案之方法，该方法包含步骤：从一具有喷嘴之喷射头将液滴喷射在上面界定有多数标的位置之一参考盘上，该标的位置布置成至少一列；在标的位置及液滴已实行着陆之位置之间检测一位移量；根据位移量对各至少一列标的位置决定相对于喷射头之相对位置误差；根据相对位置误差决定各至少一列相对位置之修正值；以及根据修正值依序改变基底和喷射头之相对位置，而将液滴喷射在基底上。