| 摘要 |
提案一种基板材的表面处理装置，其1，可解除贴附、粘结、卷附、掉下及其他基板材在输送上的麻烦，可实现平顺而稳定地输送基板材，其2，可抑制基板材上的处理液的乱流的发生以保持处理精度。该表面处理装置(5)使用于挠性印刷配线基板等电路用基板的制造工程中，其具有输送该基板材(A)的输送辊(9、10)，和在基板材(A)上喷射处理液(B)的喷嘴以及配置在该输送辊(9、10)间的中间部件(8)，且该输送辊(9、10)和中间部件(8)在其外表面形成凹凸(13、14、26)，使得与该基板材(A)的接触面变小。凹凸(13、14、26)系以在前后的输送方向(C)上形成的沟槽(15、16、17)为代表。 |
