安装有量测装置之曝光设备

摘要

一种使用来自光源的光以将光罩图案曝光至物体上的曝光设备，包含用于将图案投影至物体的投影光学系统、及用于使用光以依据干涉条纹来量测投影光学系统的光学性能之量测装置，其中，量测装置是具有尖孔以形成理想球形波的点绕射干涉仪、具有狭缝以形成理想圆柱波的线绕射干涉仪、或是使用错位干涉法的错位干涉仪。