发明名称 Raised microstructures
摘要 A raised micro-structure is disclosed for use in a silicon based device. The raised micro-structure comprises a generally planar film having a ribbed sidewall supporting the film.
申请公布号 EP1469701(A3) 申请公布日期 2005.11.16
申请号 EP20040076015 申请日期 2001.08.10
申请人 KNOWLES ELECTRONICS, LLC 发明人 PEDERSON, MICHAEL;LOEPPERT, PETER V.
分类号 H04R19/04;B06B1/04;H04R19/00;H04R31/00 主分类号 H04R19/04
代理机构 代理人
主权项
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