发明名称 超声场气体脱附方法及其调控单元
摘要 本发明属气体传感器技术领域,具体为一种特高频气体检测传感器的超声场气体脱附方法及其调控单元。该方法是对气体传感器的敏感膜施加20KHz~1MHz的超声交变电场,使气体的极性分子去极化,同时通入N<SUB>2</SUB>将气体分子带走。相应的调控单元包括超声场发生器、超声场极板和供电电源三部分。本发明对吸附气体脱附的效率高、速度快,可适用各种气体的脱附。
申请公布号 CN1696679A 申请公布日期 2005.11.16
申请号 CN200510025784.4 申请日期 2005.05.12
申请人 复旦大学 发明人 刘全;黄宜平;谢海芬;杨秋冬
分类号 G01N27/00;B01J20/34;G05D13/00 主分类号 G01N27/00
代理机构 上海正旦专利代理有限公司 代理人 陆飞;盛志范
主权项 1、一种超声场气体脱附方法,其特征在于以频率为20KHz~1MHz频段的超声交变电场作用于气体传感器的敏感膜,同时通入N2,速率为50-80ml/min,时间为40-60秒。
地址 200433上海市邯郸路220号