发明名称 MAINTENANCE APPARATUS FOR FPD MANUFACTURER
摘要
申请公布号 KR20050108154(A) 申请公布日期 2005.11.16
申请号 KR20040033218 申请日期 2004.05.11
申请人 ADP ENGINEERING CO., LTD. 发明人 LEE, YOUNG JONG;CHOI, JUN YOUNG;AHN, SUNG IL
分类号 H01L21/02;G02F1/13;H01J9/44;H01J11/10;(IPC1-7):H01J11/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
地址