液滴喷射装置、电光学装置、电光学装置的制造方法

摘要

本发明涉及一种能够简单地调整喷嘴间距，高精度地进行绘图的液滴喷射装置、电光学装置以及电子机器。在从喷头的喷嘴向基体喷射液滴的液滴喷射装置中，包括保持上述基体的平台，以及分别保持包含有1个或多个具有喷嘴列的喷头的喷头组，且在1个轴上或平行设置的多个轴上在副扫描方向上移动的多个移动机构，以及独立驱动上述多个移动机构，同时调整在上述副扫描方向或主扫描方向上相邻的上述移动机构的喷头组间的相对位置关系，并调整喷嘴间距的位置控制装置；让上述承载器相对上述平台在上述主扫描方向上相对移动，通过上述喷头组向上述基体的被喷射部喷射液滴。

主权项

1.一种液滴喷射装置，是从喷头的喷嘴向基体喷射液滴的液滴喷射装置，其特征在于，包括：保持上述基体的平台；多个移动机构，其分别保持包含有1个或多个具有喷嘴列的喷头的喷头组，且在1个轴上或平行设置的多个轴上在副扫描方向上移动；以及位置控制机构，其独立驱动上述多个移动机构，并且调整在上述副扫描方向或主扫描方向上相邻的上述移动机构的喷头组间的相对位置关系，并调整喷嘴间距，其中，让上述移动机构相对于上述平台在上述主扫描方向上相对移动，通过上述喷头组向上述基体的被喷射部喷射液滴。