| 发明名称 | 单层研磨垫及其制造方法 | ||
| 摘要 | 一种兼具所需硬度与可压缩性的单层研磨垫及其制造方法。利用发泡成型的发泡塑料以及切割的方式来制造研磨垫，让研磨垫的研磨面的密度与固定支撑面的密度不同。 | ||
| 申请公布号 | CN1697139A | 申请公布日期 | 2005.11.16 |
| 申请号 | CN200510071426.7 | 申请日期 | 2005.05.08 |
| 申请人 | 智胜科技股份有限公司 | 发明人 | 施文昌;张永忠;朱明癸 |
| 分类号 | H01L21/304;B24B37/00 | 主分类号 | H01L21/304 |
| 代理机构 | 上海隆天新高专利商标代理有限公司 | 代理人 | 楼仙英 |
| 主权项 | 1.一种单层研磨垫，包括：一本体，该本体是由多孔洞聚合物所构成；一研磨面，位于该本体的一侧；以及一固定支撑面，位于该本体的另一侧，该研磨面的密度与固定支撑面的密度不同。 | ||
| 地址 | 台湾省台中市北屯区工业区16路7号2楼 | ||