| 发明名称 |
涂布装置 |
| 摘要 |
本发明提供一种涂布装置，包括一平台、一涂布机构及一除尘装置，该平台用以支持并固定待涂布的基板，该涂布机构位于平台上方，该除尘装置设有一超声波除尘器，其设于平台上方并置于涂布机构前方。该超声波除尘器可在该涂布装置进行光阻涂布前将基板上的微粒除去，避免微粒损伤刮刀式喷嘴并减少涂布异常。 |
| 申请公布号 |
CN1695822A |
申请公布日期 |
2005.11.16 |
| 申请号 |
CN200410027228.6 |
申请日期 |
2004.05.10 |
| 申请人 |
鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;群创光电股份有限公司 |
发明人 |
邓振坤;王敬龙;许文诚;詹育颖;曾增魁;谢和利 |
| 分类号 |
B05C5/02;B05C9/10 |
主分类号 |
B05C5/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
1.一种涂布装置，包括一平台及一涂布机构，该平台用以支持并固定待涂布的基板，该涂布机构位于平台上方，其特征在于：进一步包括一除尘装置，其设有一超声波除尘器，该超声波除尘器设于平台上方并置于涂布机构前方。 |
| 地址 |
518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 |
