发明名称 |
P型氮化物半导体结构以及双极晶体管 |
摘要 |
本发明提供了一种p型氮化物半导体结构,通过在加工损伤的p型氮化物半导体上再生长含In的p型氮化物半导体,可修复加工损伤,大幅度改善欧姆特性。此外,还提供了一种可显著改善电流增益并显著提高开启电压的p型氮化物半导体双极晶体管。在通过蚀刻处理的p型氮化物半导体(2)上形成含In的p型氮化物半导体层(8)。在具有p型氮化物半导体基极层的双极晶体管中,通过再生长,在通过蚀刻发射极层(1)而暴露的p型InGaN基极层(2)上形成含In的p型InGaN基极层(8)。 |
申请公布号 |
CN1698210A |
申请公布日期 |
2005.11.16 |
申请号 |
CN200480000279.8 |
申请日期 |
2004.01.06 |
申请人 |
日本电信电话株式会社 |
发明人 |
牧本俊树;熊仓一英;小林直树 |
分类号 |
H01L29/737;H01L21/331;H01L21/28 |
主分类号 |
H01L29/737 |
代理机构 |
北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
方挺;余朦 |
主权项 |
1.一种p型氮化物半导体结构,其特征在于,在采用蚀刻加工的p型氮化物半导体上,设置有再生长的含铟的p型氮化物半导体层。 |
地址 |
日本东京 |