激光散斑干涉测量方法及装置

摘要

本发明涉及一种用激光测量纳米微粒的方法及装置，麦克尔逊激光干涉光路上放置激光器1、分光板2、空间位相扫描板3、被测样品4、位相扫描反射镜5、CCD相机6，调整好麦克尔逊激光干涉光路，在被测样品表面形态变化过程中，利用空间位相扫描板和位相扫描反射镜实时记录被测样品表面立体位相信息，在CCD相机中形成横向剪切激光散斑干涉图像，通过图像采集卡存储进计算机。再利用统计相关理论和细分技术对图像进行处理。本发明提供能够测量立体位相信息、扩大信息量、提高横向测量精度、扩大应用范围的激光散斑干涉测量方法及装置。它不仅能够应用于纳米微粒的动态行为表征，还可以作为微电子、微光学元件及半导体制造等领域的检测手段。

主权项

1、激光散斑干涉测量装置，包括：激光器(1)、分光板(2)、被测样品(4)、CCD相机(6)；其特征在于：还包括：空间位相扫描板(3)、位相扫描反射镜(5)，在麦克尔逊干涉仪的一支光路上依次同轴放置激光器(1)、分光板(2)、空间位相扫描板(3)和被测样品(4)，在分光板(2)和被测样品(4)之间放置空间位相扫描板(3)；另一支光路上在分光板(2)的两侧分别放置位相扫描反射镜(5)和CCD相机(6)，并且使分光板2、位相扫描反射镜(5)和CCD相机(6)保持同轴。