| 发明名称 | 计算机控制镀膜装置 | ||
| 摘要 | 一种计算机控制镀膜装置，包括由光源发射系统、监控片、信号接收系统和锁相放大器四部分组成的光学膜厚监控系统，其特征在于还有带有控制程序的计算机、晶控仪、挡板开关控制电路；所述的控制程序部分包括参数设定模块和数据处理模块。本发明消除了由于人为因素导致的稳定性、重复性问题；采用光学监控和晶振监控结合的方法，既可以镀膜规整膜系，又可以镀制非规整膜系。 | ||
| 申请公布号 | CN1696336A | 申请公布日期 | 2005.11.16 |
| 申请号 | CN200510026448.1 | 申请日期 | 2005.06.03 |
| 申请人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明人 | 朱美萍;易葵;郭世海;贺洪波;邵建达;范瑞瑛;范正修;齐红基 |
| 分类号 | C23C14/54;C23C14/24 | 主分类号 | C23C14/54 |
| 代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人 | 张泽纯 |
| 主权项 | 1、一种计算机控制镀膜装置，包括由光源发射系统(18)、监控片(14)、信号接收系统(19)和锁相放大器(12)四部分组成的光学膜厚监控系统，其特征在于还有：带有控制程序的计算机(30)、晶控仪(26)、挡板开关控制电路(20)；所述的晶控仪(26)的晶振头(21)通过屏蔽线经阻抗匹配器(22)和晶控仪(26)相连；所述的晶控仪(26)的蒸发源控制电压输出端(28)通过屏蔽线分别和左蒸发源(35)、右蒸发源(24)相连；所述的锁相放大器(12)的RS232串口(34)、晶控仪(26)的RS232串口(33)分别与所述的计算机(30)的第一串口(29)、第二串口(32)相连，该计算机(30)的并口(31)通过屏蔽线经挡板开关控制电路(20)与左蒸发源挡板控制器(25)和右蒸发源挡板控制器(27)相连；所述的控制程序包括参数设定模块和数据处理模块。 | ||
| 地址 | 201800上海市800－211邮政信箱 | ||