发明名称 镍钛记忆合金与压电陶瓷异质三步复合工艺
摘要 一种镍钛记忆合金与压电陶瓷异质三步复合工艺,其特征在于它是由以下三步骤组成:第一步:镍钛(NiTi)薄片基片的表面处理;第二步:在镍钛(NiTi)基片上用化学法沉积压电陶瓷(PZT)薄膜;第三步:原位热反应成材;所说的以上三步骤为空气环境,该过程使用常规加热炉。本发明的优越性在于:1、直接通过原位热反应获得二氧化钛(TiO<SUB>2</SUB>)陶瓷层与富镍(Ni)的镍钛合金区过渡层并借此解决了镍钛(NiTi)与压电陶瓷(PZT)异质间界面结合的问题;2、可直接获得一种新型功能复合材料,如智能阻尼材料。
申请公布号 CN1227753C 申请公布日期 2005.11.16
申请号 CN02131042.4 申请日期 2002.09.26
申请人 天津理工学院 发明人 刘庆锁
分类号 H01L41/24;C23C16/40;C23C16/56 主分类号 H01L41/24
代理机构 国嘉律师事务所 代理人 卢枫
主权项 1、一种镍钛记忆合金与压电陶瓷异质三步复合工艺,其特征在于它是由以下三步骤组成:第一步:采用化学方法清洗镍钛基片的表面;第二步;用化学沉积法在镍钛基片上得到压电陶瓷薄膜,控制温度在300-350℃;第三步:原位热反应成材,使镍钛记忆合金与压电陶瓷异质复合材料经热反应烧成,控制温度在600-700℃,该步骤在镍钛基片与压电陶瓷薄膜之间原位形成二氧化钛陶瓷层与富钛的镍钛合金区过渡层;以上三步骤在空气环境中进行,使用常规加热炉。
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