发明名称 图案形状物及其制造方法
摘要 本发明公开了一种图案形状物及其制造方法。该图案形状物包括由粒子聚集体构成的图案,用于支撑图案的支撑元件,和在图案与支撑元件边界处形成的混合层。混合层由粒子和支撑元件的混合物构成。在混合层以外的部分内的粒子尺寸大于混合层内的粒子尺寸。
申请公布号 CN1697588A 申请公布日期 2005.11.16
申请号 CN200510069086.4 申请日期 2005.05.10
申请人 株式会社理光 发明人 大仓秀章;佐野武;小林宽史
分类号 H05K1/00;H05K3/00 主分类号 H05K1/00
代理机构 北京银龙知识产权代理有限公司 代理人 钟晶
主权项 1.一种图案形状物,其包括由粒子聚集体构成的图案和支撑该图案的支撑元件,其特征在于,还包括混合层,该层中粒子和支撑元件在粒子聚集体和支撑元件的边界处混合,其进一步的特征在于,除混合层之外的部分的粒子尺寸大于混合层内的粒子尺寸。
地址 日本东京都