发明名称 | 图案形状物及其制造方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种图案形状物及其制造方法。该图案形状物包括由粒子聚集体构成的图案,用于支撑图案的支撑元件,和在图案与支撑元件边界处形成的混合层。混合层由粒子和支撑元件的混合物构成。在混合层以外的部分内的粒子尺寸大于混合层内的粒子尺寸。 | ||
申请公布号 | CN1697588A | 申请公布日期 | 2005.11.16 |
申请号 | CN200510069086.4 | 申请日期 | 2005.05.10 |
申请人 | 株式会社理光 | 发明人 | 大仓秀章;佐野武;小林宽史 |
分类号 | H05K1/00;H05K3/00 | 主分类号 | H05K1/00 |
代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 钟晶 |
主权项 | 1.一种图案形状物,其包括由粒子聚集体构成的图案和支撑该图案的支撑元件,其特征在于,还包括混合层,该层中粒子和支撑元件在粒子聚集体和支撑元件的边界处混合,其进一步的特征在于,除混合层之外的部分的粒子尺寸大于混合层内的粒子尺寸。 | ||
地址 | 日本东京都 |