| 发明名称 | 表面检测装置和表面检测方法 | ||
| 摘要 | 一种根据表面发射的光的强度来检测材料表面的表面检测装置，包括：照射光到表面上的照射单元；和检测该表面反射的光的强度的检测单元。光的强度分布是越接近表面光强度越高。 | ||
| 申请公布号 | CN1696672A | 申请公布日期 | 2005.11.16 |
| 申请号 | CN200510069673.3 | 申请日期 | 2005.05.10 |
| 申请人 | 富士通株式会社 | 发明人 | 安藤护俊;酒井觉 |
| 分类号 | G01N21/88;G01N21/55;G01N21/84;G01B11/30;G01B5/28;G06T7/00 | 主分类号 | G01N21/88 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王萍 |
| 主权项 | 1.一种表面检测装置，用于根据该表面反射的光的强度检测材料表面，该表面检测装置包括：用于照射光到该表面上的照射单元；以及用于检测该表面反射的光的强度的检测单元，其中光的强度分布是越接近该表面光强度越高。 | ||
| 地址 | 日本神奈川 | ||