收纳容器的气体置换装置及采用该装置的气体置换方法

摘要

在短时间内对不具有气体导入孔的一般收纳容器和具有气体导入孔的收纳容器内的气体进行置换并且净化半导体晶片表面。向包括具有气体导入孔的收纳容器主体和盖体的半导体晶片收纳容器内置换气体的气体置装置包括：向上述收纳容器主体导入气体的气体导入机构；将上述收纳容器主体的气体排出的气体排出机构；使上述收纳容器主体的气体经由化学吸附过滤器循环的气体循环机构。对于不具有气体导入孔的收纳容器则设有气体导入机构，在收纳容器安装机构内打开上述盖体的状态下，气体导入机构从收纳容器主体与盖体之间的间隙导入气体。

主权项

1.一种收纳容器的气体置换装置，是向收纳容器内置换气体的收纳容器的气体置换装置，该收纳容器包括具有气体导入孔的收纳容器主体、和塞住该收纳容器主体的盖体，其特征在于，包括：向上述收纳容器主体导入气体的气体导入机构；将上述收纳容器主体的气体排出的气体排出机构；使上述收纳容器主体的气体经由化学吸附过滤器循环的气体循环机构。