导流式双孔真空阀

摘要

一种真空阀，具有并列连接腔孔与泵孔的主流道及副流道、打开关闭所述主流道中的主阀座的主阀体，和打开关闭副流道中的副阀座的副阀体，在所述主阀体上，除了提升式地打开关闭主阀座的阀密封部件外，还设置了嵌装在主阀座内孔中的且逐渐变尖细的流量调节部，在打开所述副阀体之后打开主阀体时，使该流量调节部发挥使排气流量逐渐增大的功能。

主权项

1.一种导流式双孔真空阀，具有：用于与真空腔(C)相连的腔孔(3)及用于与真空泵(P)相连的泵孔(4)；具有这些孔的阀壳(1)；并列连接所述腔孔(3)与泵孔(4)的截面面积大的主流道(A)及截面面积比该主流道(A)小的副流道(B)；打开关闭所述主流道(A)中的主阀座(7)的主阀体(8)及打开关闭所述副流道(B)中的副阀座(35)的副阀体(36)；通过第一阀杆(10)与该主阀体(8)相连的第一活塞(9)及通过第二阀杆(38)与该副阀体(36)相连的第二活塞(37)；使开阀方向上的气压作用在第一活塞(9)上的主压力作用室(20)及使开阀方向上的气压作用在第二活塞(37)上的副压力作用室(48)；在关阀方向上对所述主阀体(8)施加弹力的第一弹簧件(23)、以及在关阀方向上对所述副阀体(36)施加弹力的第二弹簧件(54)和第三弹簧件(40)中的至少第二弹簧件(54)；通过接触和离开所述主阀座(7)而提升地打开关闭该主阀座(7)的阀密封部件(8a)，其特征在于，上述副流道(B)及副阀体(36)组装到上述主阀体(8)的内部，上述第二活塞(37)及副压力作用室(48)组装到上述第一活塞(9)的内部，上述第二阀杆(38)组装到第一阀杆(10)的内部，并且，具有借助旋转操作进退、以调整作用于上述第二活塞(37)上的上述第二弹簧件(54)的弹力的调节棒(60)，和用于旋转操作该调节棒(60)的转盘(56)，上述主阀体(8)具有嵌在该主阀座(7)的内孔(7a)中并通过打开关闭该阀密封部件(8a)而在该内孔(7a)中移动的流量调节部(69)，所述流量调节部(69)具有这样的功能，即它通过逐渐变尖细的结构而在所述阀密封部件(8a)打开时使流动于主流道(A)中的空气流量逐渐增大。