半导体装置及其制造方法

摘要

本发明的目的是要得到具有良好的特性的薄膜晶体管。使非晶硅膜203的特定的区域205保持有选择地与镍元素相接。然后通过加热处理，进行用207示出的那种朝向与基板平行的方向的结晶生长。再通过在含有卤族元素的氧化性气氛中的加热处理，形成热氧化膜209。此时，进行结晶性的改善、镍元素的吸杂。然后使上述结晶生长方向与源/漏区的联结方向一致来制造薄膜晶体管。通过这样做，可得到迁移率为200(cm²/Vs)以上，S值为100(mV/dec)以下的那种具有良好特性的TFT。

主权项

1.一种半导体器件，该器件具有在具有绝缘表面的基板上形成的包括结晶硅膜作为有源层的薄膜晶体管，其中所述结晶硅膜在预定的方向上具有带有连续性的结晶结构，并在所述预定的方向上具有延伸的结晶粒界；其中将薄膜晶体管的沟道形成区中的载流子移动方向与所述预定方向形成为具有一个预定角度；其中在所述结晶粒界处杂质偏析，和其中所述结晶硅膜包括浓度为1×1017原子/cm3或更少的用于促进半导体膜结晶的金属元素。