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发明名称 Narrow band uv laser with visible light alignment laser
摘要
申请公布号 EP1026538(B1) 申请公布日期 2005.11.16
申请号 EP20000101974 申请日期 2000.02.01
申请人 CYMER, INC. 发明人 NEWMAN, PETER C.
分类号 H01L21/027;G02B27/62;G03F7/20;H01S3/086;(IPC1-7):G02B27/62;G01B11/26;H01S5/022;G01B11/27 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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