具有弹性膜的多区域承载体

摘要

一种用于基材的化学机械研磨程序的承载体(carrier head，或称承载头)，其包括一基底与一个延伸在基底下方的弹性膜。该弹性膜包括一个具有一外表面的中心部位，以提供一基材接收表面；一边缘部位，以连接该中心部位与该基底；以及至少一个由该中心部位的内表面延伸出的褶板。该褶板将弹性膜与基底之间的容积分割成数个腔室，且该褶板包括一个横向延伸的第一部位与一个弯曲的第二部位，该弯曲的第二部位延伸在该第一部位的下方，且连接该横向延伸的第一部位至该中心部位。

主权项

1.一种用于基材的化学机械研磨的承载体，该承载体包括：一基底；以及一弹性膜延伸在该基底下方，该弹性膜包括一中心部位、一边缘部位及至少一褶板，该中心部位具有一外表面以提供一基材接受表面，该边缘部位连接该中心部位至该基底，该褶板由该中心部位的一内表面延伸出，该褶板将位在该弹性膜与该基底之间的一容积划分成复数个腔室，该褶板包括一横向延伸第一部位与一弯曲第二部位，该第二部位延伸在该第一部位下方且连接该横向延伸第一部位至该中心部位。