一种带有出光窗口的高功率垂直腔面发射激光器

摘要

本发明涉及垂直腔面发射激光器包括：高铝组分氧化物限制层1、上分布布拉格反射镜2、上金属电极3、散热片4、热沉5、钝化膜6、中间有源增益区7、下分布布拉格反射镜8、衬底9、下金属电极10、出光窗口11、抗反射膜12和台面结构13。本发明采用大出光窗口垂直腔面发射激光器、HfO₂抗反射膜及Al₂O₃钝化膜提高输出功率。出光窗口小于台面直径的设计方案，能实现较均匀的注入电流分布，使器件有圆形均匀发光区，可获得圆对称光束。实验测量：出光窗口直径为400微米和700微米时，其光输出功率分别为1.26瓦和1.95瓦；本发明的光输出功率是背景技术中光输出功率的2.1倍。本发明的抗反射膜的透过率达99.99％，性能稳定，可用于III－V族半导体材料制成的光电器件中。

主权项

1、一种带有出光窗口的高功率垂直腔面发射激光器，包括：高铝组分氧化物限制层(1)、上分布布拉格反射镜(2)、上金属电极(3)、散热片(4)、热沉(5)、下分布布拉格反射镜(8)、衬底(9)、下金属电极(10)和台面结构(13)，其特征在于：钝化膜(6)、中间有源增益区(7)、出光窗口(11)、抗反射膜(12)，出光窗口(11)的下端面与衬底(9)的上端面固定连接，抗反射膜(12)的下端面与出光窗口(11)的上端面固定连接，有源增益区(7)的p面与上分布布拉格反射镜(2)和钝化膜(6)的上端面固定连接，有源增益区(7)的n面与下分布布拉格反射镜(8)的下端面固定连接，高铝组分氧化物限制层(1)和上分布布拉格反射镜(2)的侧面与钝化膜(6)的侧面连接。