表面形状识别传感器及其制造方法

摘要

一种包括突起和基本支撑突起中心的支撑部分的构件(113b)，其形成在每个下电极的上部区域内的上电极(110a)上，并与下电极(105a)一一对应，其中支撑部分的面积在上电极(110b)的二维方向小于突起部分的面积。表面形状传感对象例如指尖(1602)接触到该构件(113b)的突起表面，与传感对象接触的突起构件(113b)的支撑部件将部分上电极(110a)下推到下电极(105a)，由此使得上电极(110a)变形。

主权项

1.一种表面形状识别传感器，其特征在于包括：多个电容传感部件，其包含排列在衬底的同一个平面上的多个下电极，以使其相互间彼此绝缘分离，以及形成在彼此间具有预定距离的所述下电极上的应变板形上电极，并由金属制成；支撑部件，其形成于所述下电极周围以使其彼此绝缘和分离，并支撑所述上电极；和在每个所述下电极的上部区域内的所述上电极上形成并与所述下电极一一对应的构件，其中所述构件包括突起和基本上支撑所述突起的中心的支撑部分，和所述支撑部分的面积在所述上电极的二维方向上小于所述突起的面积。