| 发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING THERMAL TYPE FLOW SENSING ELEMENTS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050107727(A) |
申请公布日期 |
2005.11.15 |
| 申请号 |
KR20040083109 |
申请日期 |
2004.10.18 |
| 申请人 |
MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
KAWAI MASAHIRO |
| 分类号 |
G01F1/692;B81C1/00;G01F1/68;H01C7/02;H01L21/00;H01L27/146;H01L49/00;(IPC1-7):G01F1/68 |
主分类号 |
G01F1/692 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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