| 发明名称 |
VORRICHTUNG ZUR SCHEIBENBEHANDLUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT308798(T) |
申请公布日期 |
2005.11.15 |
| 申请号 |
AT19990963012T |
申请日期 |
1999.12.02 |
| 申请人 |
SILICON VALLEY GROUP, INC. |
发明人 |
PARK, JAE, HEON |
| 分类号 |
H01L21/677;B65G49/07;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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