PLASMA COIL,申请号KR20020064197-传众专利搜索

发明名称	PLASMA COIL
摘要
申请公布号	KR100528463(B1)	申请公布日期	2005.11.15
申请号	KR20020064197	申请日期	2002.10.21
申请人		发明人
分类号	H01L21/20;H05H1/46;B01J19/08;C23C14/00;C23C16/50;H01J37/32;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/20	主分类号	H01L21/20
代理机构		代理人
主权项
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