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发明名称 LITHOGRAPHIC PROJECTION APPARATUS WITH IMPROVED SUBSTRATE HOLDER
摘要
申请公布号 KR100528265(B1) 申请公布日期 2005.11.15
申请号 KR19990010741 申请日期 1999.03.29
申请人 发明人
分类号 G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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