提拉式乾燥装置

摘要

本发明主要提供一种，降低乾燥时产生污染的危险性，可抑制设备成本及设置面积，并且能以批次来处理半导体装置的基板、液晶面板的基板等必需严格清净化的零件材料的乾燥适切、新型的乾燥方法及乾燥装置。提拉槽10上缘的四个边中对向的一对边较其他的两边低，内部的水能流出而排到排水槽20的越流部10a。提拉槽10内侧装配着棒状的加热器11，其上方则设置了加热器盖12，导出一对排气管13、13，此排气管13一直延伸到提拉槽10上方，作为排放气体至外部之用。提拉槽10底部与给水管14相接，由后述的给水系统供给超纯水。排水槽20下部与排水管21相接，此排水管接于由循环帮浦、切换阀等所构成的给水控制装置22。

主权项

1.一种提拉式乾燥装置,系藉由提拉沉入水中的零 件使该零件乾燥,其特征包含: 提拉槽,沉入该零件; 排水手段,排出该提拉槽中的水; 给水控制手段,监控该排水的纯度,并且再度使该 排水循环于该提拉槽内或排出到外部; 加热器,配设于该提拉槽内部; 加热器盖,配设于该加热器的上方,收集在该加热 器所产生的气体;以及 排气管,使被收集于该加热器盖的该气体散逸到该 提拉槽外,其中 该给水控制手段依照需要对该提拉槽内供给纯水 。 图式简单说明: 图1所示的是本发明中所用提拉乾燥装置的实施形 态之全体概略构造的纵断面图。 图2所示的是相同实施形态中加热器、加热器盖及 排气管之构造的扩大斜视图。 图3所示的是相同实施形态中提拉槽及排水槽的概 略装配构造模式的斜视图。 图4所示的是相同实施形态中载物架的一部份平面 断面图。 图5所示的是相同实施形态中载物架的纵断面图。 图6所示的是载物架的提拉状态说明图。