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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE WITH DIFFUSION BARRIER
摘要
申请公布号 KR20050106916(A) 申请公布日期 2005.11.11
申请号 KR20040031984 申请日期 2004.05.06
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 KIM, SOO HYUN
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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