| 发明名称 |
PROCEDE ET DISPOSITIF DE LITHOGRAPHIE PAR RAYONNEMENT DANS L'EXTREME UTRAVIOLET |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2859545(B1) |
申请公布日期 |
2005.11.11 |
| 申请号 |
FR20030010547 |
申请日期 |
2003.09.05 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
CORMONT PHILIPPE;THRO PIERRE YVES;VACHER CHARLIE |
| 分类号 |
G03F7/20;H05G2/00;(IPC1-7):G03F7/20;G03F7/22;H01S3/23 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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