发明名称 Halbleiterspeicherbauelement mit SOI (Silizium auf Isolator) Struktur und Verfahren für dessen Herstellung
摘要
申请公布号 DE19923388(B4) 申请公布日期 2005.11.10
申请号 DE1999123388 申请日期 1999.05.21
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, YUNG-GI
分类号 H01L21/28;H01L21/8242;H01L21/84;H01L27/02;H01L27/108;H01L27/12;(IPC1-7):H01L27/12 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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