发明名称 |
VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON EINEM PHOTOLITHOGRAPHISCH GEMUSTERTEN KUNSTSTOFFPOLIERKISSEN |
摘要 |
An innovative method of manufacturing polishing pads using photocuring polymers and photolithography. The photolithography enables the creation of useful surface patterns not possible with conventional machining techniques and enables the use of pad materials otherwise too soft to pattern by conventional machining techniques. |
申请公布号 |
DE69827789(T2) |
申请公布日期 |
2005.11.10 |
申请号 |
DE1998627789T |
申请日期 |
1998.01.12 |
申请人 |
RODEL, INC. |
发明人 |
COOK, MELBOURNE;JAMES, B.;CHECHIK, G.;BUDINGER, D. |
分类号 |
B24B37/00;B24B37/04;B24B37/22;B24B37/26;B24D3/00;B24D11/00;B24D18/00;H01L21/304;(IPC1-7):B24D3/00 |
主分类号 |
B24B37/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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