Vorrichtung zum Drehbelacken von Substraten

摘要

Es wird eine Vorrichtung zum Drehbelacken von Substraten (8) mit flüssigem Medium vorgeschlagen, die einen drehbaren Substrathalter (2) zur horizontalen Auflage eines Substrats (8) und eine Abdeckeinheit (9) zum Abdecken des Subtrates (8) während eines Verteilvorgangs des flüssigen Mediums durch Drehen des Subtrathalters (8) umfasst. Erfindungsgemäß ist der Substrathalter (2) mit der Abdeckeinheit (9) dicht zusammenfügbar. Zusätzlich sind jedoch umfänglich angeordnete Durchgangslöcher vorgesehen, über welche der aus Abdeckeinheit (9) und Substrathalter (2) gebildete Belackungsinnenraum (10) nach wie vor nach außen verbunden ist.