Vorrichtung und Verfahren zur optischen Strahlhomogenisierung

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur optischen Strahlhomogenisierung, umfassend mindestens eine optisch funktionale Grenzfläche, durch die ein zu homogenisierender Strahl hindurchtreten kann oder an der ein zu homogenisierender Strahl reflektiert werden kann, sowie eine Vielzahl von Linsenelementen (4, 5) oder Spiegelelementen, die auf der mindestens einen optisch funktionalen Grenzfläche angeordnet sind, wobei die Linsenelemente (4, 5) oder die Spiegelelemente jeweils in ihren Randbereichen eine derartige Krümmung aufweisen, dass dadurch beugungsbedingte Effekte verringert werden.