光学放大率调节系统

摘要

本发明披露了一种能够精细校正放大率的光学放大率调节系统。将第一平凸透镜1安装在物面5的一侧，将第二凹平透镜2安装在成像面7的一侧。通过控制第一透镜与第二透镜之间的中心间隔d，放大或缩小图像。分别根据如下等式设置第一透镜的凸面和第二透镜的凹面的曲率半径R2和R3。R2＝(1-n1)/φ2;R3＝(n2-1)/φ3;其中φ2和φ3分别表示屈光力，n1和n2分别表示折射率。

主权项

1.一种光学放大率调节系统，该系统包括：第一平凸透镜或平凹透镜，具有屈光力φ2，由如下等式定义；以及第二凹平透镜或凸平透镜，具有屈光力φ3，由如下等式定义，它们均被安装在光学曝光系统的物面侧或图像侧的远心位置，其中通过改变所述透镜之间的间距可以精细改变所述光学曝光系统的总系统放大率，φ3＝-Φ(S1+e1)/d0φ2＝-(Φ-φ3)/(1-d0φ3)其中Φ：所述光学放大率调节系统的总屈光力， S1：从所述第一透镜的第一面到所述物面，即光掩模面，的距离， d0：满足放大率β＝1的所述两个透镜之间的中心间隔， e1＝t1/n1，t1：所述第一透镜1的中心厚度，n1：所述第一透镜1的折射率。